產品與服務 - FA EDA

FA EDA是上揚軟件開發的基于BS構架的數據分析系統(EDA),其可以對生產過程產生的多種數據進行采集和分析,以幫助用戶能夠發現生產中的問題,更好控制和提高產品質量。

FA EDA支持多種數據輸入方式,包括各種測試文件的自動讀取、EAP方式直接從設備獲取等。

FA EDA目前主要定位在PCM和CP數據的自動采集和分析上,今后會支持更多種類的數據分析。

FA EDA主要模塊

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FA EDA主要模塊有:

  • 數據自動采集模塊
  • PCM與CP數據實時監控模塊
  • SPC離線分析
  • PCM數據分析
  • Bin/Defect Map缺陷分析
  • Yeild良率分析
  • 系統設置及權限控制模塊

數據自動采集模塊

該模塊實現自動讀取測試數據文件,生成規范化數據后存儲到數據庫中,并對數據文件進行歸檔管理。

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PCM與CP數據實時監控模塊

該模塊實時監控“數據自動采集模塊”導入的數據,并根據設置的監控項目,實時發現有異常的數據并報警,按設置可執行Hold批次或Hold設備等動作。

該模塊的主要功能有:

  • 監控項目(Job)設定功能
  • 數據監控功能

SPC離線分析

該模塊針對選定的Job,使用圖形化控件在坐標中顯示所收集到數據的XBar、MR、R等Chart的值,選中點后可以看到原始數據及相關的采集信息,能夠在圖形上顯示控制線。

支持多種管制圖對工藝參數進行離線統計分析(XBar-Sigma/XBar-Range/Moving Range/P/Pn/Count等)。對于選定的Chart Point,可以計算出Max、Min、Cp、Cpk、Std Dev、Ca等參數。

支持圖形轉換功能,同樣的數據可在Control Chart、Histogram、Normal Prob等之間切換顯示,支持根據原始數據進行數據分布顯示(Histogram Chart/BoxPlot/Probability Chart/Normalize Line等)。

PCM數據分析

該模塊提供對PCM測試的數據分析功能,主要功能有:

  • PCM數據查詢分析
    提供基于天、周、月、自定義時間段,以及產品、工藝路線、工段、工序、PCM參數等條件進行查詢分析,支持按單片Wafer和多片Wafer/Lot查詢分析,支持根據PCM參數測試結果生成PCM Map,支持PCM參數原始數據及按條件匯總導出至Excel。
  • PCM參數失效分析
    對按查詢條件查詢得到的數據進行分析,支持按單片Wafer和多片Wafer/Lot查詢分析,支持根據PCM各測試參數值生成SPC管制圖進行分析。
  • PCM參數相關性分析
    支持PCM參數間或PCM參數與良率之間的相關性分析,支持PCM參數與工藝過程參數之間的相關性分析,支持通過散布圖分析PCM參數間的相關性。
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Bin/Defect Map缺陷分析

Bin/Defect Map缺陷分析主要用于CP中測數據的Bin與缺陷分析,系統支持按Lot和按Wafer進行分析。支持基于時間范圍、產品、工藝路線、工段、工序、檢查設備等條件對Bin和Defect數據進行查詢和分析。

可按Wafer單片/多片/Lot顯示Bin/Defect Map,支持在Defect Map上顯示Defect的實際尺寸大小,支持Defect實際圖片與Map上的Defect點鏈接,支持Bin/Defect原始數據的匯總與多條件查詢導出Excel。

提供Bin與Defect Map的疊加顯示分析,并提供多條件查詢功能,支持Wafer Mapping圖的放大、縮小、旋轉、復制等功能。

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Yeild良率分析

該模塊支持基于天、周、月、自定義時間段,以及支持基于工廠、產品、工藝路線、工段、工序、檢查設備等條件進行數據查詢和分析。

支持選擇所要分析的Lot/Wafer,支持根據所選Lot/Wafer統計良率匯總報表,支持按時間周期顯示在制品的良率趨勢圖表。

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系統設置及權限控制模塊

該模塊為系統提供基本設置的功能,主要功能有:

  • 監控參數設置,設置需要監控的參數
  • 產品信息設置
  • 用戶和用戶組設置
  • 用戶權限設置
  • 系統的可維護性,數據,清理,遷移和整理機制

軟件架構

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FA EDA使用了微軟的.Net構架,可以部署在任何運行Windows的服務器上,支持Windows Server 2003~2012。

在開發技術上使用了微軟的ClickOnce技術和B/S技術,用戶可以通過瀏覽器對系統進行訪問。

數據庫則使用Oracle作為系統的數據庫引擎。

硬件架構

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FA EDA應用服務器數量可以視業務量隨時增加和縮減,并可實現負載平衡。

支持微軟的NLB,可實現EDA應用服務器的負載平衡。

數據庫方面,FA EDA支持Oracle RAC技術,可實現高并發量的業務處理。

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